碳酰氟(CF2O)是高纯电子气体，国内准备大规模生产
- 发布时间：2025-05-19
- 发布者： 本站
- 来源： 原创
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碳酰氟(CF2O)
产品说明
碳酰氟，又名氟光气，是一种含氟、非易燃、有毒气体，化学式为CF2O，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂。
技术指标
组成
单位
指标
碳酰氟(CF2O)
wt%
≥99.0
三氟乙酰氟
wt%
≤0.5
其他
wt%
≤0.5
理化指标
检测项目
单位
指标
化学名称
/
三氟乙酰氟
CAS
/
353-50-4
分子式
/
CF2O
结构式
/
分子量
g/mol
66.01
沸点(1atm)
℃
-84
临界温度
℃
22.8
液体密度
g/ml
1.14
包装方式
本产品充装在钢瓶或运输槽罐中，钢瓶包装规格1000 kg/1000 L，钢瓶充装系数0.5 kg/L；钢瓶或运输槽罐外附有标签、合格证，注明牌号、商标、批号。
注意事项
1.产品储存时要远离火源、热源，防止超压；储存场所必须有良好的通风装置。
2.高温天气，要对露天存放的钢瓶进行防晒降温措施，防止超压。
3.本品按危险品运输，运输过程中应避免受热或剧烈震动。
产品说明
碳酰氟，又名氟光气，是一种含氟、非易燃、有毒气体，化学式为CF2O，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂。
技术指标
组成
单位
指标
碳酰氟(CF2O)
wt%
≥99.0
三氟乙酰氟
wt%
≤0.5
其他
wt%
≤0.5
理化指标
检测项目
单位
指标
化学名称
/
三氟乙酰氟
CAS
/
353-50-4
分子式
/
CF2O
结构式
/
分子量
g/mol
66.01
沸点(1atm)
℃
-84
临界温度
℃
22.8
液体密度
g/ml
1.14
包装方式
本产品充装在钢瓶或运输槽罐中，钢瓶包装规格1000 kg/1000 L，钢瓶充装系数0.5 kg/L；钢瓶或运输槽罐外附有标签、合格证，注明牌号、商标、批号。
注意事项
1.产品储存时要远离火源、热源，防止超压；储存场所必须有良好的通风装置。
2.高温天气，要对露天存放的钢瓶进行防晒降温措施，防止超压。
3.本品按危险品运输，运输过程中应避免受热或剧烈震动。
