六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6
产品详情：
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六氟丁二烯（C4F6） |
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化学式 |
C4F6 |
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中文名称 |
六氟丁二烯 |
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英文名称 |
1,3-Hexafluorobutadiene |
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CAS No. |
685-63-2 |
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分子量 |
297.8 |
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充装系数 |
2.8kg/L |
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应用 |
全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。 |
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产品规格 |
≥99.995% |
