乙硅烷
产品详情：
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乙硅烷（Si2H6）Disilane |
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化学式 |
Si2H6 |
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中文名称 |
乙硅烷 |
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英文名称 |
Disilane |
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CAS No. |
1590-87-0 |
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分子量 |
66.22 |
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充装系数 |
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应用 |
太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。 |
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产品规格 |
≥99.999% |
